一、先進技術解析

（一）旋轉式分子篩吸附濃縮 + RTO 技術

• 技術原理

• 吸附濃縮：旋轉式分子篩吸附輪是核心部件，其表面的分子篩具有特殊的孔隙結構和吸附性能。電子廠排放的低濃度、大風量廢氣通過吸附輪時，其中的 VOCs 被分子篩吸附，潔凈氣體排出。隨著吸附輪的緩慢旋轉，吸附飽和的區域進入脫附階段，通過熱風等方式使 VOCs 從分子篩上脫附下來，實現濃縮。

• 燃燒處理：濃縮后的高濃度 VOCs 廢氣被送入蓄熱式熱力焚燒爐（RTO）。在 RTO 內，廢氣被加熱至 700 - 850℃，VOCs 在此高溫下充分燃燒，轉化為二氧化碳和水等無害物質。燃燒產生的高溫煙氣通過蓄熱體，將熱量傳遞給蓄熱體后排出，蓄熱體則將熱量儲存起來，用于預熱下一批進入的廢氣，極大提高了能源利用效率。

• 適用場景

• 適用于計算機制造、電子真空器件制造、半導體及集成電路制造等電子工業生產工藝廢氣的治理。這些行業生產過程中排放的廢氣通常具有低濃度、大風量的特點，旋轉式分子篩吸附濃縮 + RTO 技術能夠高效應對。

• 對于印刷或涂布工藝產生的無組織廢氣，收集后先采用吸附技術預濃縮，再經 RTO 治理，可有效實現達標排放。

• 技術優勢

• 高去除效率：多室床式或旋轉式 RTO 的 VOCs 去除效率通常可達 95% 以上，兩室 RTO 的 VOCs 去除效率也能達到 90% 以上，能有效降低電子廠廢氣中的 VOCs 濃度，滿足嚴格的環保排放標準。

• 節能高效：通過蓄熱體對燃燒熱量的回收利用，大幅減少了能源消耗。在中大型企業中，還可通過余熱回用進一步降低運行費用，實現經濟效益與環境效益的雙贏。

• 局限性

• 在非連續生產工況下或入口廢氣濃度水平波動較大時，該技術治理廢氣的能耗會增加。因為吸附濃縮和燃燒過程需要穩定的廢氣流量和濃度條件來維持高效運行，工況不穩定會導致設備頻繁調整，增加能源消耗。

（二）減風增濃 + RTO 技術

• 技術原理

• 減風增濃：運用冷凝濃縮、膜分離濃縮等技術手段，對電子廠排放的廢氣進行處理。通過降低廢氣風量，同時提高廢氣中 VOCs 的濃度，使廢氣更適合后續的 RTO 處理。例如，冷凝濃縮利用不同物質沸點的差異，將廢氣冷卻使 VOCs 冷凝成液體，從而實現分離和濃縮；膜分離濃縮則是利用特殊的膜材料，對廢氣進行選擇性透過，使 VOCs 富集。

• 燃燒處理：與旋轉式分子篩吸附濃縮 + RTO 技術中的 RTO 部分原理相同，將增濃后的高濃度 VOCs 廢氣在 RTO 中高溫燃燒，轉化為無害物質，并利用蓄熱體回收熱量。

• 適用場景

• 適用于電子廠等各類企業，尤其對于廢氣排放量大且濃度較低的情況，減風增濃技術可有效減少廢氣處理量，降低 RTO 設備的規模和投資成本。

• 技術優勢

• 成本降低：減少了廢氣處理量，降低了設備投資和運行成本。同時，增濃后的廢氣在 RTO 中燃燒更穩定高效，減少了輔助燃料的消耗。

• 資源回收：在減風增濃過程中，部分有價值的有機溶劑可被回收利用，實現資源的循環利用，進一步提高企業經濟效益。

（三）蓄熱催化燃燒技術（RCO）

• 技術原理

• 催化燃燒：在催化劑的作用下，廢氣中的 VOCs 在較低溫度（一般 300 - 500℃）下發生氧化反應，生成二氧化碳和水。催化劑能夠降低反應的活化能，使反應更容易進行。

• 蓄熱回收：增加了蓄熱體，廢氣首先通過蓄熱體被預熱到一定溫度，然后進入催化燃燒室進行反應。燃燒后的高溫氣體通過另一組蓄熱體，將熱量傳遞給蓄熱體后排出，蓄熱體儲存熱量用于預熱下一次進入的廢氣，提高能源利用效率。

• 適用場景

• 適用于對溫度較為敏感、VOCs 濃度適中的電子廠廢氣治理，例如一些對溫度控制要求較高的電子元器件生產過程中產生的廢氣。

• 技術優勢

• 低溫燃燒：相比傳統燃燒技術，RCO 在較低溫度下進行反應，減少了高溫燃燒帶來的能源消耗和設備損耗，同時降低了氮氧化物等二次污染物的生成。

• 高效節能：蓄熱體的應用使能源得到充分回收利用，運行成本較低，且 VOCs 去除效率高，一般可達 95% 以上。

（四）催化燃燒技術（CO）

• 技術原理

• 廢氣中的 VOCs 在催化劑表面發生氧化反應，催化劑降低了反應所需的溫度，使 VOCs 在相對較低的溫度下（一般 200 - 400℃）轉化為二氧化碳和水。常見的催化劑有貴金屬催化劑（如鉑、鈀等）和非貴金屬催化劑（如過渡金屬氧化物等）。

• 適用場景

• 適用于中低濃度的 VOCs 廢氣治理，對于一些成分相對簡單、濃度不是特別高的電子廠廢氣有較好的處理效果。

• 技術優勢

• 能耗較低：相比直接燃燒，催化燃燒在較低溫度下進行，減少了燃料消耗，降低了運行成本。

• 設備相對簡單：不需要復雜的蓄熱裝置等，設備占地面積相對較小，投資成本相對較低。

二、有電鍍生產工藝企業的廢氣處理

• 原理：噴淋塔內設置多層噴淋裝置，將堿性吸收液（如氫氧化鈉溶液）均勻噴灑。硫酸霧等酸性污染物與堿性吸收液發生中和反應，生成鹽和水，從而被去除；氰化氫等污染物也能通過與吸收液中的特定成分反應而被吸收。

• 流程：廢氣從噴淋塔底部進入，自下而上流動，與自上而下噴淋的吸收液充分接觸反應。凈化后的氣體從塔頂排出，達標排入大氣。吸收液在塔底收集后，可根據需要進行處理和循環使用。